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  无尘室内生产制造设备应注意的重点  


1.生产设备之选择、布置与保养:
  a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
  b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
  c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
  d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
  e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气管线排气。
  f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
  g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
  h.应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈。
  i.当设备维修时易产生微尘粒子,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
  j.对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
  k.应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。
  l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室,将是一理想之规划。
2.生产设备之防尘措施:
  a.磨损、切削均为发生微尘之原因,故需将发尘部分掩盖之。
  b.易产生尘埃之设备,若能的话应布置于风尾地点。
  c.在操作时,尽量减少接触零件或产品。
  d.不得有太大或不必要的操作动作,以免卷起附近之灰尘。
  e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
  f.为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀之设置。
3.自动化与无尘化:
  a.设立自动化传送系统,可减少人员方面所带来的污染,唯费用相当昂贵,须详加评估。
  b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定,无尘室作业人员作业规则,无尘室管理规则等来自网络

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